如果您想知道 MEMS 麦克风外壳上几乎看不见的孔下面藏着什么，那么您很幸运，因为[Zach Tong] 可以为此牺牲一对 10 美元的耳塞和一台电子显微镜。
对于外行来说，MEMS 代表微机电系统，这是一种微型硅机器，为智能手机和其他现代电子产品的一些更神奇的功能提供动力。最熟悉的 MEMS 设备可能是加速度计，它可以让你的手机感知它在太空中的位置； [Zach]深入研究了我们不久前介绍过的 MEMS 加速度计。
MEMS 麦克风似乎更容易从机械角度理解，因为它们所需要做的就是将空气中的振动转换为电信号。 [扎克]为这段视频拆下的麦克风小得离谱； SMD 器件长约 3 毫米，MEMS 芯片位于罐体下方不到一毫米的地方。用光学显微镜进行全面观察后，[扎克]打开罐子，将内脏放在扫描电子显微镜下。 SEM 照片非常令人惊叹，显示出第二层上有凹坑的硅隔膜，并在其上蚀刻了孔。振膜上的凹坑嵌套在孔中，形成空气介电电容器，其电容随着声波振动振膜而变化。
不过，视觉上最有趣的特征可能是位于两个上表面后面的深腔。 [扎克]说，该空腔有证据表明是通过深度反应离子蚀刻方法蚀刻的，其壁上有看起来很酷的波纹。相对于覆盖它的薄层而言，该空腔的巨大程度表明它是声波的谐振腔。
感谢 [Zach] 对这款极其复杂但又异常简单的设备进行了深入研究。
原文： https://hackaday.com/2023/12/20/up-close-and-personal-with-a-mems-microphone/